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NNS-Z20-01 Z轴纳米定位平台
NNS-Z20-01是一款Z轴方向的运动台,闭环行程20μm,可提供0.3nm的闭环分辨率。具有大负载,高谐振频率,高带宽的特性。采用表面阳极氧化黑工艺,满足光学类应用。可用于侧挂式应用。
典型应用
• 三维成像 • 纳米定位
• 自动对焦 • 超分辨率显微镜
• 光学测量 • 表面检测
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